SKH59高速钢上的碳膜清洗

　　等离子活化具有极为广泛的应用领域，这使其成为行业中广受关注的核心表面处理工艺。

　　台式等离子体通过RF电源产生电离气态的加速电子，离子和自由基共存的等离子体，与固体表面相互作用会导致三种表面清洁的基本现象：

　　1.从电子 - 样本相互作用加热;

　　2.从离子样品相互作用中溅射;

　　3.与根本样品的相互作用中进行灰化

　　所有等离子体在清洁速率方面是有效的，但它可以导致不可逆的表面样品改性(氧化)和不必要的加热(如果样品对温度敏感的话)。

　　上图中可以看到在电极附近的氧等离子体和碳膜附近的等离子体的密度是不相称的。

　　在真空度相对较高情况下，氧气转化为氧等离子体较为活跃，在相对较低的压力中，氧等离子体与碳分子的更有利于碳氧化合物的结合。

　　铝合金材质电极与氧气一起获得的典型清洁曲线射频等离子。

　　(a)静态供气模式下的清洁

　　(b)动态供气模式下的清洁。

　　垂直的黑色(a)中的箭头表示O2气体补充。压力和功率数据表明了不同的工艺参数分别表示氧分压和RF功率。绿色圆圈代表清洁的终点当高速钢上的碳涂层被完全去除时的过程。